一、项目信息

采购人：山西大学

项目名称：山西大学原子层沉积系统采购

拟采购的货物或服务的说明：

拟采购VEECO公司原子层沉积系统一套，型号为Savannah S200。该系统具有独特的核心工艺：1.掺杂工艺Hf1-xZrxO2 (x~0.5) ，并可以调控掺杂比例；2. 能够实现SAMs自组装单分子层的薄膜沉积生长；3. 能够实现50℃低温生长HfO2薄膜1 nm-5 nm，给存储芯片剖面结构染色；4.能够实现一次性10片Batch批处理生长工艺。该技术参数能够满足High-K介电薄膜的研究，低温生长工艺可以满足对温度较为敏感和苛刻的固态量子器件，八英寸的大基底可满足晶圆级存储器件的介电层及封装技术的研究等。

拟采购的货物或服务的预算金额： 1280000 元

采用单一来源采购方式的原因及说明：目前满足上述参数的原子层沉积系统，只有美国VEECO公司的Savannah S200能够达到要求，且北京时代天启真空科技有限公司是美国VEECO公司在中国此项目授权的唯一代理商，因此申请以单一来源方式采购。

二、拟定供应商信息

名称：　北京时代天启真空科技有限公司

地址：北京市朝阳区天朗园C座3层03商业丰收孵化器2780号三、公示期限

2023 年 月 日至 2023 年 月 日（公示期限不得少于5个工作日）

四、其他补充事宜：

五、联系方式

1.采购人

联 系 人：　 程 斌 　

联系地址：　山西省太原市坞城路92号　

联系电话：　　 0351-7011255　　　

2.监督部门

联系人： 山西省财政厅政府采购管理处

联系地址: 太原市小店区学府街41号

联系电话： 0351-4123278

六、附件

1、专业人员论证意见

2、原子层沉积系统采购项目明细

附件1：

附件2：

原子层沉积系统采购项目明细

序号	货物名称	数量	单位	预算单价（元）	预算总价(元)	品牌规格型号及配置技术参数	备注
1	原子层沉积系统	1	1	1280000	1280000	型号：Savannah S200； 技术参数：1、沉积Al2O3薄膜均匀性偏差<1%（ 8寸硅片) 2、具有硅片反应腔体满足8寸及不规则样品的表面薄膜沉积 3、两种工作模式：快速热ALD连续模式和曝光模式 4、采用耐腐蚀真空泵，具有SOFT PUMP抽气功能 5、可在具有超深宽比沟槽样品上实现完美覆盖 6、人性化的操作界面和开放化的制程工艺配方，用户可以自编程制程工艺
合计					1280000